更新時(shí)間:2023-11-01
SR系列反射式膜厚儀可用于測量半導體鍍膜,手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場(chǎng)合。
反射式膜厚測量?jì)x
SR系列反射式膜厚測量?jì)x可用于測量半導體鍍膜,手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場(chǎng)合。SR可用于測量2納米到3000微米的膜厚,測量精度達到0.1納米。 在折射率未知的情況下,還可用于同時(shí)對折射率和膜厚進(jìn)行測量。
此外,SR還可用于測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以?xún)?。A3-SR進(jìn)行測量簡(jiǎn)單可靠,實(shí)際測量采樣時(shí)間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進(jìn)行手動(dòng)測量,每次測量時(shí)間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以?xún)鹊哪P筒⒖蓪Χ鄬幽ず駞颠M(jìn)行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數據庫,同時(shí)支持函數型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。
同時(shí),客戶(hù)還可以通過(guò)軟件自帶數據庫對材料,菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測量結果。目標應用:半導體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測量藍寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽(yáng)能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚,顏色測量卷對卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測量膜厚的場(chǎng)合.
產(chǎn)品型號和系統設置:
產(chǎn)品型號 | A3-SR-100 |
產(chǎn)品尺寸 | W270*D217*(H90+H140) |
產(chǎn)品圖片 | |
測試方式 | 可見(jiàn)VIS 反射(R) |
波長(cháng)范圍 | 380nm - 1050 nm |
光源 | 進(jìn)口 鎢鹵素燈 壽命10000小時(shí) |
光路和傳感器 | 光纖式(FILBER,進(jìn)口 )+進(jìn)口光譜儀 |
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
參考光樣品 | 硅片 |
光斑大小 | About 1 mm(標配,可以根據用戶(hù)要求配置) |
樣品大小 | 10 mm TO 300 mm (可以根據用戶(hù)要求配置) |
光學(xué)測量技術(shù)參數(OPTICAL SPECIFICATION)
測試方式 | 反射 |
膜厚測量性能指標(THICKNESS SPECIFICATION):
產(chǎn)品型號 | A3-SR-100 |
厚度測量1 | 15nm - 100 um |
折射率1(厚度要求) | 大于100nm |
準確性2 | 2 nm 或0. 5% |
精度3 | 0.1 nm |
1表內為典型數值, 實(shí)際上材料和待測結構也會(huì )影響性能
2 使用硅片上的二氧化硅測量,實(shí)際上材料和待測結構也會(huì )影響性能
3 使用硅片上的二氧化硅(500納米)測量30次得出的1階標準均方差,每次測量小于1秒.
軟件(SOFTWARE):
檢測項目 | 標準型 |
層數 | 10 層 |
材料 | 表格型和函數型 |
粗糙度模型 | 有 |
反射/透射 | 反射型+透射型 |
材料庫 | 表格型+函數型 |
入射角 | 垂直入射 |
折射率測量 | 有 |
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